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。”
一般来说，光刻机的物镜系统是朝着越来越复杂发展。
因此越先进的型号，体积往往也越大。
但ArF1800的所有模组都比上一代�
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一般来说，光刻机的物镜系统是朝着越来越复杂发展。
因此越先进的型号，体积往往也越大。
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